半導体洗浄に適したオルガノ「ピューリックω2」ご紹介

半導体洗浄に適したオルガノ「ピューリックω2」ご紹介

最高純度の水質を達成
微量分析、半導体洗浄に適した水を安定供給

●TOC≦1ppb、メタル≦0.01ppt、シリカ≦50ppt、
　ホウ素≦1ppt、微粒子(50nm) ≦1個/mL
●半導体グレードのイオン交換樹脂を採用し、
　イオンや微粒子の溶出を徹底的に除去
●超純水プラントの処理フローを実装し、高純度の水を安定供給